세벌 공정 가스와 150 밀리미터 급속 열 처리 시스템

세벌 공정 가스와 RTP-150RL 급속 열 처리 시스템

RTP-150RL :
단일 조각 웨이퍼 또는 표본을 가열시키는 적외선 가시 광선, 짧은 공정 시간, 2-6 인치 웨이퍼에 적합한 고온 제어정밀도로, 데스크 설명서 신속소둔 시스템의 보호 대기에 있습니다.그것의 유일한 캐비티 설계, 진보적 온도 제어 기술과 전통적 확산로 어닐링 장치 에 유일한 RL900 소프트웨어 제어시스템은 다른 RTP 시스템과 비교해서 우수한 열 균일성을 보증합니다.

제품 특성 :

1. 공기 냉각법을 사용하여 식으면서, 적외선 할로겐 램프는 냉난방을 관을 답니다.

2. 튜브 권력 PID 온도 제어가 좋은 재현성과 온도 균일성을 보증하기 위해, 정확하게 온도 히팅을 제어할 수 있습니다.

3. 평행한 공기 흡입 방법은 채택되고 가스의 유입이 어닐링 공정 동안 랭점을 피하기 위한 웨이퍼 표면에 설정되고, 제품의 좋은 온도 균일성을 보증합니다.

4. 공기와 진공 처리 방법은 흡입 공기 가스 정제 처리 전에, 선택될 수 있습니다.

5. 공정 가스의 세벌과 기준.

6. 측정할 수 있는 매엽 샘플의 최대 크기는 6 인치 (150mm) 입니다.

7. 노 안전 온도 개시 보호, 온도 조절기 개시 당국 보호와 장비 비상 정지 안전 보호의 3중 안전 검사는 기구의 안전을 보장하기 위해 채택됩니다.