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최대 제품 크기:8인치 이하 웨이퍼
장비 치수:970mm x 1450mm x 2024mm (폭 x 깊이 x 높이)
가열 온도 범위:상온~~800 ℃ (열전대) 800 ℃~1250 ℃ (적외선 고온계)
상품 이름:급속 열 처리 시스템
모델:RTP-150RL
최대 샘플 크기:150 밀리미터