부스트 프로덕션 급속한 열처리 RTP-SA-8 앙일링 시스템

1장비 시스템의 기본 구성

1.1설계

급속한 열처리 (Rapid Thermal Processing) 는 직립 반 자동 8인치 웨이퍼 급속한 굽기 오븐으로, 열을 가리기 위해 두 층의 적외선 할로겐 램프를 사용합니다.내부 쿼츠 구멍은 고립되고 고립됩니다, 하구의 외부 껍질은 물 냉각 알루미늄 합금으로 만들어져 제품의 균일한 난방과 낮은 표면 온도를 보장합니다.

급속한 열처리는 PID 컨트롤을 채택하고 시스템은 적외선 할로겐 램프의 출력 전력을 빠르게 조정하여 온도 조절을 더 정확하게합니다.

1.2제품 특징

이중층 적외선 하로겐 램프 튜브 난방, 급속한 질소 냉각;

온도 균일성을 향상시키기 위해 램프 튜브의 독립적으로 개발된 그룹 배열

PID 알고리즘 제어를 사용하여 램프 출력 전력의 실시간 조정

사용자 계정은 편리한 정보 관리를 위해 세 가지 권한 수준으로 나뉘어 있습니다.

소프트웨어의 주요 인터페이스는 가스, 온도, 진공도 등과 같은 실시간 매개 변수를 표시 할 수 있습니다.

시스템은 각 프로세스에 대한 관련 정보를 자동으로 저장합니다.

오류 메시지를 자동으로 인식하고 이상 경우 장치를 자동으로 보호합니다.

과열 감지: 방의 외부 껍질의 물 냉각 알루미늄 합금의 온도는 70 °C를 초과합니다.

열쌍 탐지: 시스템 프로세스 동안 열쌍 모니터링 값은 설정 값과 일치하지 않습니다.

열 감지: 열 때 이상 출력 전력.

오븐 문 잠금 탐지: 각 과정 전에 문 잠금 잠금 여부를 확인합니다.

가스 감지: 가스 압력이 설정 범위를 초과하거나 가스 압력이 너무 높거나 너무 낮습니다.

물 흐름 감지: 입수 흐름 속도는 기본 값보다 낮습니다.

누출 감지: 누출 감지

비상 정지 스위치: 즉시 프로세스를 중지하고 열 소스를 차단하십시오.

1.3.급속한 열 처리산업용

이온 이식 굽기

ITO 코팅 후 빠른 응열

산화물

나이트라이드 성장

실리시드 합금의 응고

갈륨 아르세나이드 공정

오름 접촉 빠른 합금

산화 역류

다른 반도체 빠른 열처리 과정

2주요 장비 구성

2.1장비의 일반 매개 변수

2.2구성 확인 목록

표준 구성

2.3일반 소모품

3출입시 장비를 설치하기 전에 외관 검사 및 임시 보관 요구 사항

• 공급자의 장비가 도착한 후, 당사자 A는 부품의 수와 포장물의 무결성을 확인하고 보관할 책임이 있습니다.우리는 또한 상하이 가노바에 장비를 설치 현장으로 운반하는 데 도움을 주어야 합니다., 설치에 편리함을 제공합니다.

• 장비의 내부 및 외부 포장지가 손상되지 않았는지, 명백한 손상, 긁힘 또는 페인트 껍질 벗기 여부

• 기계 내부와 외부에 더럽거나 찌꺼기가 있는지

• 이름 표지판 표시가 장비와 일치하는지 확인하십시오

• 이 기술 협약에 있는 장비의 표준 구성에 따라 각 항목을 하나씩 세우고 예비 부품과 액세서리의 세부 정보를 작성합니다.또한 완전한 구성을 보장하기 위해 unboxing 기록에서 소프트웨어 이름.

• 새로운 장치의 호스트와 내부 구성 요소는 완전히 새로운해야합니다

• 진동이 없는 깨끗한 공간에 장비를 보관