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제품 상세 정보:
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| 결정은 형상을 이룬다: | 4h | 상품 이름: | 2 인치 디아미터실리콘 카바이드 (SiC)기판 상술 |
|---|---|---|---|
| 지름: | 50.8mm±0.38mm | 1차 플래트 배향: | {10-10}±5.0' |
| 1차 플래트 길이: | 47.5 밀리미터 ± 1.5 밀리미터 | 2차 플래트 배향: | 실리콘 페이스 업 :90' CW. 중요한 flat±5.0으로부터' |
| 마이크로파이프 비중: | ≤5cm-2 | 두께 a: | 260μm±25μm |
| 강조하다: | 2인치 SiC 기판,까다로운 전력전자 2인치 웨이퍼,SiC 기판 350um |
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P 레벨 2인치 SiC 기판 4H-N/SI<0001>260μm±25μm 까다로운 전력 전자 장치용
JDCD03-001-001 2인치 SiC 기판 P 레벨 4H-N/SI<0001>260μm±25μ전원 장치 및 마이크로파 장치용 m
개요
까다로운 파워 일렉트로닉스를 위한 높은 크리스탈 품질
운송, 에너지 및 산업 시장이 발전함에 따라 신뢰할 수 있는 고성능 전력 전자 장치에 대한 수요가 계속해서 증가하고 있습니다.개선된 반도체 성능에 대한 요구 사항을 충족하기 위해 장치 제조업체는 4H n형 실리콘 카바이드(SiC) 웨이퍼의 4H SiC 프라임 등급 포트폴리오와 같은 넓은 밴드갭 반도체 재료를 찾고 있습니다.
| 2인치 직경실리콘 카바이드(SiC)기판 사양 | ||
| 등급 | 생산등급(P등급) | |
| 디미터 | 50.8mm±0.38mm | |
| 두께 | 260μm±25μm | |
| 웨이퍼 방향 | 축상: 4H-N/4H-SI의 경우 <0001>±0.5°, 축외: <1120 쪽으로 4.0° > 4H-N/4H-SI의 경우 ±0.5° | |
| 마이크로파이프 밀도 | ≤5cm-² | |
| 비저항 | 4H-N | 0.015~0.028Ω·cm |
| 4H-SI | ＞1E5Ω·cm | |
| 기본 평면 방향 | {10-10}±5.0° | |
| 기본 플랫 길이 | 15.9mm±1.7mm | |
| 기본 플랫 길이 | 8.0mm±1.7mm | |
| 보조 평면 방향 | 실리콘 앞면:90°CW.Prime flat±5.0°에서 | |
| 가장자리 제외 | 1mm | |
| TTV/보우/워프 | ≤15μm/≤25μm/≤25μm | |
| 거칠기 | 실리콘 페이스 | CMP Ra≤0.5nm |
| 카본 페이스 | 폴란드어 Ra≤1.0nm | |
| 고강도 빛에 의한 가장자리 균열 | 없음 | |
| 고강도 조명에 의한 육각 플레이트 | 누적 면적 ≤1% | |
| 고강도 조명에 의한 폴리타입 영역 | 없음 | |
| 고강도 빛에 의한 실리콘 표면 긁힘 | 1 x 웨이퍼 직경 누적 길이에 3개의 스크래치 | |
| Intensity Light 조명으로 Edge Chips High | 없음 | |
| 고강도에 의한 실리콘 표면 오염 | 없음 | |
| 포장 | 다중 웨이퍼 카세트 또는 단일 웨이퍼 컨테이너 | |
비고: 로 표시된 항목에는 3mm 가장자리 제외가 사용됩니다.ㅏ.
회사 소개
우리는 전자, 광학, 광전자 및 기타 여러 분야에서 널리 사용되는 웨이퍼, 기판 및 맞춤형 광학 유리 부품으로 다양한 재료를 가공하는 것을 전문으로 합니다.우리는 또한 많은 국내 및 해외 대학, 연구 기관 및 기업과 긴밀히 협력하여 R&D 프로젝트를 위한 맞춤형 제품 및 서비스를 제공하고 있습니다.좋은 평판을 통해 모든 고객과 좋은 협력 관계를 유지하는 것이 우리의 비전입니다.
자주하는 질문
Q: 당신은 무역 회사입니까 아니면 제조업체입니까?
우리는 공장입니다.
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담당자: Xiwen Bai (Ciel)
전화 번호: +8613372109561
