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제품 상세 정보:
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| 상품 이름: | 원문대로 에피택셜 웨이퍼 | 결정은 형상을 이룬다: | 4h |
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| 지름: | 150.0mm+0.0/-0.2mm | 표면 배향: | {0001}±0.2° |
| 주 기준 가장자리의 길이: | 골짜기 | 보조 참조 모서리 길이: | 하위 참조 모서리 없음 |
| 강조하다: | 4H 세미 절연 기판,Ｐ 수준 실리콘 카바이드 기판,6 인치 세미 절연 기판 |
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기판 350.0±25.0μm MPD≤0.5/cm2 Resistivity≥1E9Ω·cm을 격리하는 피-준위 SI-타입 6 인치 4H-SiC 세미
전력과 마이크로파 소자를 위한 6 인치 4H-SiC 기판 피-준위 SI-타입 350.0±25.0μm MPD≤0.5/cm2 Resistivity≥1E9Ω·cm
개관
SiC는 다음의 특성을 가집니다 :
SiC는 다이오드와 파워 트랜지스터와 고전력 마이크로파 소자와 같은 매우 고전압과 고전력 장치의 제작을 위해 사용됩니다. 전통적 Si 장치와 비교하여, SiC-기반을 둔 전력 소자는 더 빨리 고온 능력 때문에 요구한 교환 속도 더 높은 전압, 더 낮은 저항 성분, 더 작은 크기, 더 적은 냉각을 가집니다.
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6 인치 4H-SiC 세미 절연 기판 |
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| 제품의 성능 | Ｐ | Ｄ | |
| 결정은 형상을 이룬다 | 4H | ||
| 다형 | 인정하지 마세요 | Area≤5% | |
| 마이크로파이프 덴시티아 | ≤0.5/cm2 | ≤5/cm2 | |
| 비어 있는 케케묵은 6 | 인정하지 마세요 | Area≤5% | |
| 육각형 표면 하이브리드 크리스탈 | 인정하지 마세요 | ||
| 포장지 a | Area≤0.05% | 이용 불가능 | |
| 저항률 | ≥1E9Ω·cm | ≥1E5Ω·cm | |
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(0004)xrd 흔들리는 곡선(FWHM)의 반높이폭 |
≤45 아크초 |
이용 불가능 |
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| 지름 | 150.0mm+0.0/-0.2mm | ||
| 표면 배향 | {0001}±0.2' | ||
| 주요 기준 선의 길이 | 눈금 | ||
| 2차 참고 모서리의 길이 | 어떤 부참조 모서리 | ||
| 노치 방향 | <1-100>±1' | ||
| 노치 각 | 90' +5' /-1' | ||
| 깊이의 눈금 도 | 모서리 1 밀리미터 +0.25mm/-0mm으로부터 | ||
| 표면 제조 | C-표면 : 미러 마감, Si 면 : 화학 기계적 연마 (CMP) | ||
| 웨이퍼의 모서리 | 웨이퍼 에지 챔퍼 | ||
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표면 거칠기(10μm×10μm)
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si 면 Ra≤0.2 nm C-표면 Ra≤0.5 nm
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| 두께 |
350.0μm±25.0μm
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| LTV(10mm×10mm)A |
≤2um
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≤3um
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| 트트바 |
≤6um
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≤10um
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| 보와 |
≤25um
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≤40um
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| 와르파 |
≤40um
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≤60um
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| 균열 에지 / 격차 | ≥0.5mm의 길이와 폭의 붕괴 모서리는 허락되지 않습니다 | ≤2과 ≤1.0mm의 각각 길이와 폭 | |
| 스크라트차 | ≤5And 전체 길이 is≤ 0.5가 지름을 맞춥니다 | ≤5과 전체 길이 is≤1.5는 지름을 맞춥니다 | |
| 결함 | 인정하지 마세요 | ||
| 오염 | 인정하지 마세요 | ||
| 모서리 이동 |
3 밀리미터 |
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말하세요 : 3 밀리미터 에지 배제는 a와 함께 표시된 항목을 위해 사용됩니다.
우리에 대하여
우리는 다양한 재료를 웨이퍼로 처리하는 것을 전문으로 합니다, 기판과 주문 제작된 광학유리 parts.components가 넓게 전자공학, 광학, 옵토 일렉트로닉스와 많은 다른 분야에 사용했습니다. 우리가 또한 밀접하게 많은 국내이고 해외 대학, 조사 기관과 회사와 함께 일했다고 그들의 연구 개발 사업을 위한 주문 제작된 제품 및 서비스가 규정합니다. 우리의 좋은 평판에 의해 우리의 모든 고객들과 협력의 좋은 관계를 유지하는 것은 우리의 비전입니다.
FAQ
큐 : 당신이 업체 또는 제조를 거래하고 있습니까 ?
우리는 공장입니다.
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일반적으로 상품이 주식에 있다면 그것은 3-5 일입니다.
또는 상품이 주식에 없으면 그것은 7-10 일입니다, 양에 따른 중입니다.
큐 : 당신은 샘플을 제공합니까 ? 그것이 자유롭거나 여분입니까 ?
예, 우리는 자유 전하를 위한 샘플을 제공할 수 있지만, 화물의 비용을 지불하지 않습니다.
큐 : 당신의 결제 조건이 무엇입니까 ?
입금 <>
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담당자: Xiwen Bai (Ciel)
전화 번호: +8613372109561
