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제품 상세 정보:
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| 상품 이름: | 원문대로 에피택셜 웨이퍼 | 결정은 형상을 이룬다: | 4h |
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| 지름: | 150.0mm+0.0/-0.2mm | 표면 배향: | {0001}±0.2° |
| 주 기준 가장자리의 길이: | 골짜기 | 보조 참조 모서리 길이: | 하위 참조 모서리 없음 |
| 강조하다: | 150mm 4H SiC 웨이퍼,SiC 기판 350um,4H SiC 웨이퍼 6inch |
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6inch 4H-SiC 기판 D-level SI-Type 350.0±25.0μm MPD≤5/cm2 Resistivity≥1E5Ω·cm 전력 및 마이크로파 장치용
개요
생산 개선을 위한 크기
150mm 웨이퍼 크기를 통해 당사는 제조업체가 100mm 장치 제작에 비해 향상된 규모의 경제를 활용할 수 있는 능력을 제공합니다.당사의 150mm SiC 웨이퍼는 지속적으로 우수한 기계적 특성을 제공하여 기존 및 개발 중인 장치 제조 공정과의 호환성을 보장합니다.
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6인치 4H-SiC 반절연 기판 |
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| 제품 성능 | 피 | 디 | |
| 크리스탈 형태 | 4시간 | ||
| 다형 | 허용하지 않음 | 면적≤5% | |
| 마이크로파이프 밀도ㅏ | ≤0.5/센티미터2 | ≤5/센티미터2 | |
| 6칸 비어 있음 | 허용하지 않음 | 면적≤5% | |
| 육각형 표면 하이브리드 크리스탈 | 허용하지 않음 | ||
| 포장지ㅏ | 면적≤0.05% | 해당 없음 | |
| 비저항 | ≥1E9Ω·cm | ≥1E5Ω·cm | |
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(0004)XRD 로킹 커브의 절반 높이 너비(FWHM) |
≤45 초각 |
해당 없음 |
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| 지름 | 150.0mm+0.0/-0.2mm | ||
| 표면 방향 | {0001}±0.2° | ||
| 주 기준 가장자리의 길이 | 골짜기 | ||
| 보조 참조 모서리 길이 | 하위 참조 모서리 없음 | ||
| 노치 방향 | <1-100>±1° | ||
| 노치 각도 | 90° +5°/-1° | ||
| 노치 깊이 | 가장자리에서 1mm +0.25mm/-0mm | ||
| 표면 준비 | C-Face: 경면 마감, Si-Face: 화학적 기계적 연마(CMP) | ||
| 웨이퍼의 가장자리 | 웨이퍼 가장자리 모따기 | ||
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표면조도(10μm×10μm)
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Si면 Ra≤0.2nm C면 Ra≤0.5nm
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| 두께 |
350.0μm±25.0μm
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| LTV(10mm×10mm)ㅏ |
≤2µm
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≤3µm
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| TTVㅏ |
≤6µm
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≤10µm
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| 절하다ㅏ |
≤25µm
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≤40µm
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| 경사ㅏ |
≤40µm
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≤60µm
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| 깨진 가장자리 / 틈 | 길이와 너비가 0.5mm 이상인 접힌 가장자리는 허용되지 않습니다. | ≤2 및 각 길이 및 너비 ≤1.0mm | |
| 할퀴다ㅏ | ≤5그리고 총 길이는 ≤ 0.5배 직경 | ≤5, 총 길이 is≤1.5 배 직경 | |
| 결함 | 허용하지 | ||
| 오염 | 허용하지 | ||
| 가장자리 제거 |
3mm |
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비고: 로 표시된 항목에는 3mm 가장자리 제외가 사용됩니다.ㅏ.
회사 소개
우리는 전자, 광학, 광전자 및 기타 여러 분야에서 널리 사용되는 웨이퍼, 기판 및 맞춤형 광학 유리 부품으로 다양한 재료를 가공하는 것을 전문으로 합니다.우리는 또한 많은 국내 및 해외 대학, 연구 기관 및 기업과 긴밀히 협력하여 R&D 프로젝트를 위한 맞춤형 제품 및 서비스를 제공하고 있습니다.좋은 평판을 통해 모든 고객과 좋은 협력 관계를 유지하는 것이 우리의 비전입니다.
자주하는 질문
Q: 당신은 무역 회사입니까 아니면 제조업체입니까?
우리는 공장입니다.
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예, 샘플을 무료로 제공할 수 있지만 운임은 지불하지 않습니다.
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결제 <=5000USD, 100% 선불.
Paymen >=5000USD, 미리 80% T/T, shippment 전에 균형.
담당자: Xiwen Bai (Ciel)
전화 번호: +8613372109561
