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제품 상세 정보:
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| 상품 이름: | 6 인치 직경 탄화규소 (SiC) 기판 상술 | 1차 플래트 배향: | {10-10}±5.0' |
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| 결정은 형상을 이룬다: | 4h | 1차 플래트 길이: | 47.5 mm±2.0 밀리미터 |
| 지름: | 149.5mm~150.0mm | 웨이퍼 방향: | 축 이탈 :4H-N,On 주축을 위한 4.0' <1120>±0.5를 향하여' :4H-SI를 위한 <0001>±0.5' |
| 강조하다: | SiC 에피택셜 웨이퍼 C-표면,광학 폴란드 SIC 웨이퍼,Si 면 CMP는 에피택셜 웨이퍼를 토합니다 |
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0.015Ωocm-0.025Ωocm SiC 에피택셜 웨이퍼 C-표면 :광학 니스, Si 면 CMP
개관
SIC 웨이퍼는 실리콘으로 만들어진 반도체 물질입니다. 탄화 규소 웨이퍼는 크리스탈을 식각함으로써 만들어지는 결정성 재료입니다. 그것은 전력용 반도체 장치를 위해 사용되기에 충분히 일반적으로 가늡니다. 다른 타입은 일종의 절연체입니다.
온도 범위는 전력용 반도체에 극단적으로 전기적이고 자기장에 중요합니다. 탄화 규소 웨이퍼는 양쪽 방향으로 전도성 있습니다.
| 6 인치 직경 탄화규소 (SiC) 기판 상술 | ||||
| 등급 | 제로 MPD 생산 등급 (Ｚ 등급) | 가짜 등급 (Ｄ 대학원생) | ||
| 지름 | 149.5mm~150.0mm | |||
| 두께 | 4H-N | 350μm±20μm | 350μm±25μm | |
| 4H-SI | 500μm±20μm | 500μm±25μm | ||
| 웨이퍼 방향 | 축 이탈 :4H-N,On 주축을 위한 4.0' ±0.5를 향하여 <1120>' :<0001>4H-SI를 위한 ±0.5' | |||
| 마이크로파이프 비중 | 4H-N | ≤0.5cm-2 | ≤15cm-2 | |
| 4H-SI | ≤1cm-2 | ≤15cm-2 | ||
| 저항률 | 4H-N | 0.015~0.025Ω·cm | 0.015~0.028Ω·cm | |
| 4H-SI | ≥1E9Ω·cm | ≥1E5Ω·cm | ||
| 1차 플래트 배향 | {10-10}±5.0' | |||
| 1차 플래트 길이 | 4H-N | 47.5 mm±2.0 밀리미터 | ||
| 4H-SI | 눈금 | |||
| 에지 배제 | 3 밀리미터 | |||
| LTV / TTV / 활 /Warp | ≤3μm/≤6μm/≤30μm/≤40μm | ≤5μm/≤15μm/≤40μm/≤60μm | ||
| 거칠기 | 실리콘 표면 | CMP Ra≤0.2nm | Ra≤0.5nm | |
| 탄소 전면 | Ra≤1.0nm을 닦으세요 | |||
| 고강도 빛에 의한 에지 균열 | 어떤 것 | 점진적 길이 ≤ 20 밀리미터가 length≤2 밀리미터를 선발합니다 | ||
| ※ 고강도에 의한 마법 플레이트는 점등됩니다 | 누적된 area≤0.05% | 누적된 area≤0.1% | ||
| 고강도 빛에 의한 ※Polytype 지역 | 어떤 것 | 누적된 area≤3% | ||
| 시각적 탄소 포함 | 누적된 area≤0.05% | 누적된 area≤3% | ||
| 고강도 빛에 의한 실리콘 표면 스크래치 | 어떤 것 | 크우무라티브 length≤1×wafer 지름 | ||
| 고강도 빛에 의한 가장 자리 칩 | 어떤 것도 ≥0.2 밀리미터 폭과 깊이를 허용하지 않았습니다 | 각각 5 허락된, ≤1 밀리미터 | ||
| 고강도 빛에 의한 실리콘 표면오염 | 어떤 것 | |||
| 패키징 | 멀티 웨이퍼 카세트 또는 매엽 컨테이너 | |||
말하세요 : 3 밀리미터 에지 배제는 a와 함께 표시된 항목을 위해 사용됩니다.
우리에 대하여
우리는 다양한 재료를 웨이퍼로 처리하는 것을 전문으로 합니다, 기판과 주문 제작된 광학유리 parts.components가 넓게 전자공학, 광학, 옵토 일렉트로닉스와 많은 다른 분야에 사용했습니다. 우리가 또한 밀접하게 많은 국내이고 해외 대학, 조사 기관과 회사와 함께 일했다고 그들의 연구 개발 사업을 위한 주문 제작된 제품 및 서비스가 규정합니다. 우리의 좋은 평판에 의해 우리의 모든 고객들과 협력의 좋은 관계를 유지하는 것은 우리의 비전입니다.
FAQ
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우리는 공장입니다.
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예, 우리는 자유 전하를 위한 샘플을 제공할 수 있지만, 화물의 비용을 지불하지 않습니다.
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입금 <>
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